超纯水冷却

为了对各个制造步骤的温度进行控制，超纯水（UPW）与工艺冷却水（PCW）处理必不可少。半导体行业中一般的制造工艺需要消耗大量的水，而且还要保持正确的水温。针对该应用类型，阿法拉伐一系列垫片板式换热器及焊接板式换热器，如：AlfaDisc, AlfaRex及Compabloc，可确保满足客户所有的特定要求。

超纯水（UPW）广泛用于计算机微片制造步骤。当无法使用常规PCW时，超纯水可确保关键工艺步骤的洁净度。利用阿法拉伐装配钛板的全焊接板式换热器，可始终保持超纯水的洁净度。